拋光液供液系統(tǒng)
Xplaim-ST-SDS
設備概述
主要應用于半導體濕法行業(yè)各種拋光液Slurry的供應
設備亮點
機型種類多
廠務中央供液CDS和設備端Local CDS，可以供原液，也可以增加稀釋混液系統(tǒng)。
適用于DSP、EP、FP等各種拋光機。
專業(yè)性設計
針對拋光液Slurry特性使用行業(yè)驗證的針對性關鍵配件，比如磁懸浮泵、連續(xù)液位計、控溫系統(tǒng)等。
可靠性強
多種數(shù)字儀表，電導率、PH計、溫度、壓力、流量、空桶檢測等檢測系統(tǒng)工況。
自動化程度高
自動配液、自補液，可選拋光后回收或直排。與廠務MES通訊上傳工藝參數(shù)。